VIGOUR>>Váš důvěryhodný partner pro pokročilé systémy dodávky plynu

Speciální stojan na plyn
Řada VGR

• Nepřetržitá a nepřerušovaná dodávka elektronických-plynů ve velkém.
• Volitelné funkce odvětrávání a proplachování s bezpečnostním odlehčením tlaku.
• Svařovaná sestava pro čisté prostory třídy 100.
• Volitelné řízení PLC s komunikačním rozhraním, ke kterému lze přistupovat prostřednictvím systému inteligentní monitorovací platformy.
• Alarm vysokého tlaku / nízkého tlaku se zvukovými a vizuálními signály, schopný nouzového vypnutí.
• Dotykový displej pro tlak v láhvi a další údaje.
• Typ: Speciální stojan pro regulaci plynu
• Materiál: SS 316L pro ventily a potrubní součásti
• Použitelné plyny: inertní plyny (Ne, Kr, Ar, He atd.)
• Způsob dodávky plynu: Plynová láhev
• Napájení: 110~240VAC
• Konfigurace: Jedno-válec, dvojitý-válec

Speciální plynová skříň
Řada VGC

• Typ: Speciální plynová skříň
• Materiál: SS 316L pro ventily a potrubní součásti
• Použitelné plyny: hořlavé/samozápalné plyny-, korozivní plyny, toxické plyny (např. SiH4, HCL)
• Napájení: 110~240V AC
• Pouzdro: Svařovaná ocel-odolná proti korozi
• Skleněné okno: Automatické-zavírání
• Výfukové potrubí: Nahoře-namontované výfukové potrubí
• Aplikace produktu: Univerzitní/výzkumné laboratoře; Průmyslová výroba; Fotovoltaická solární energie; Farmacie a biotechnologie; Výroba polovodičových integrovaných obvodů
• Design Standards: Vyhovuje standardům SEMI S2; Vyhovuje mezinárodním předpisům o požární bezpečnosti budov; Maximální pracovní tlak: 110 % zkušebního tlaku

Sestavy plynových tyčí

Řada VUP

• Plynová tyč s ultra vysokou čistotou pro všechny systémy delilery

100TG: Dodávka 1/4" VFS menší nebo rovna 30 slpm

200TG: Dodávka menší nebo rovna 300 slpm 3/8"VFS

300TG: Méně než nebo rovno 600 slpm dodání 1/2"VFS

• Výrobek je vyroben v souladu se specifikací procesu VS001A
• Vysoká přesnost ovládání
• Všechny spoje svařované nebo VFS
• Možnost manuálního nebo pneumatického membránového ventilu
• 100% helium-testováno na těsnost-
• Vstupní tlak P1: 300 psig (20 bar)
• Výstupní tlak P2: Vac až 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10 bar)
• Materiály membránového ventilu: tělo 316L; Sedlo ventilu PCTFE; Membrána Elgiloy®
• Materiály regulátoru: tělo 316L/316L sekundární přetavení; Sedlo ventilu PCTFE; Membrána Hastelloy®
• Rychlost úniku: (do atmosféry) 1x10^-9 mbar I/s He;

(přes sedadlo) 1x10^-8 mbar I/s H

Ovládací panely tlaku

Řada VUP-1U

• Ovládací panely tlaku (jednostranný typ)
• Jednostupňový regulátor řady VSR-100UBS/UCS
• Ventily s odvzdušňovacími membránami řady VDV33UBS
• Vstupní procesní membránové ventily řady VDV33UBS
• Orbitální svařované spoje čelního těsnění VFS-
• Modulární design
• Vhodné pro vstupní tlak až 3500 psig (250 bar)
• Snadná instalace do bezpečnostní skříně pro plynové lahve
• 100% helium testováno na těsnost
• Vstupní tlak P1: max. 3500 psig (250 bar)
• Výstupní tlak P2: Vac až 10/30/60/100/150 psig (0,7/2/4/7/10 bar)
• Povrchová úprava: 10uin. Ra (25uin. Ra volitelné)
• Vstupy a výstupy: 1/4" armatura VFS
• Teplotní rozsah: -40F až +160℉ (-40 stupňů až +71 stupňů)
• Kapacita toku: Cv=0.09 (možnost Cv=0.15)