INTEGRATED GAS SYSTEM>>Sdílení produktové řady IGS
VIGOR poskytuje pokročilé integrované plynové systémy (IGS) navržené speciálně pro kontrolu-plynu s vysokou čistotou v průmyslu výroby polovodičů. Naše řešení kombinují inovativní inženýrství s přísnými výrobními standardy, aby byla zajištěna spolehlivost, kompaktnost a vynikající výkon v kritických aplikacích.
Vlastnosti produktu
- Používá se pro regulaci plynu v polovodičovém průmyslu
- Modulární design
- Všechny komponenty jsou povrchově montovány v souladu s normou SEMl
- Velikost je asi 1/3 tradičního panelu
- Standardní materiál SEMl, proces elektrolytického leštění a orbitální svařování
- Wseal a C{0}}seal volitelné
- Dvojité balení v čisté místnosti
- Všechny produkty, kromě „držáků“, jsou všechny vyráběny v souladu se specifikací procesu VS001A
Regulátory tlaku IGS řady VIR
1. Max. Pracovní tlak: 150 psig
2. Max. Pracovní teplota: -40 stupňů F~140 stupňů F (-40 stupňů ~60 stupňů)
3. Výstupní tlak: 0~100 psig
4. Povrchová úprava: Max. 5uin. Ra
5. Materiál: 316L VIM-VAR
6. Sedlo ventilu: PCTFE (PFA/Vespel volitelně)
7. Kapacita toku: Cv=0.08
Membránové ventily IGS řady VID
1. Max. Pracovní tlak: 150 psig
2. Max. Pracovní teplota: PCTFE 14 stupňů F ~ 176 stupňů F (-10 stupňů ~ 80 stupňů); PFA 14 stupňů F~302 stupňů F (-10 stupňů ~150 stupňů)
3. Žádný design slepé uličky
4. Mokrý povrch je ošetřen EP, Max. 5uin. Ra.
5. Materiál: 316L VIM-VAR
Testováno na 6. 100% těsnost-helia-
7. Kapacita toku: Cv=0.1
IGS průtokové regulační ventily řady VIM
1. Max. Pracovní tlak: 150 psig
2. Max. Pracovní teplota: 14 stupňů F~302 stupňů F (-10 stupňů ~150 stupňů)
3. Těsnění: FKM
4. Mokrý povrch je ošetřen EP, Max. 5uin. Ra
5. Kapacita toku: Cv=0.03
Zpětné ventily IGS řady VICV
1. Max. Pracovní tlak: 150 psig
2. Max. Pracovní teplota: 14 stupňů F~176 stupňů F (-10 stupňů ~80 stupňů)
3. Povrchová úprava: Max. 5uin. Ra
4. Trhací tlak: 0,33 psig
5. Kapacita toku: Cv=0.2
Substráty řady VlB (C-těsnění)
1. C-pečeť
2. Nepevná instalace pro zajištění těsnícího účinku
3. Mokrá část je ošetřena EP
4. Povrchová úprava: Max. 5uin.Ra
5. Materiál: 316L VIM-VAR
Hlavní produktová řada
- Regulátory tlaku IGS (řada VIR)
- IGS membránové ventily (řada VID)
- IGS průtokové regulační ventily (řada VIM)
- Zpětné ventily IGS (řada VICV)
- Substráty a držáky IGS (série VIB)
- Těsnění (řada VIG)
Proč zvolit VIGOR IGS?
Naše systémy představují synergii precizního inženýrství a praktického designu a poskytují:
- Prostorová efektivita: Dramaticky zmenšená velikost panelu.
- Ultra-vysoká čistota: Materiály a procesy přizpůsobené pro aplikace na úrovni polovodičů-.
- Modulární flexibilita: Snadná konfigurace, rozšíření a údržba.
- Osvědčená spolehlivost: Přísné testování a dodržování SEMI-standardů.
Ve společnosti VIGOUR nabízíme více než jen komponenty{0}}poskytujeme integrovaná řešení, která uvedou vaše nápady do života s jistotou a přesností.
