Funkce produktu
VMB VMB VMB ventilové potrubí je modulární systém distribuce a řízení plynu speciálně navržený pro elektronické inertní plyny s vysokou čistotou (jako je CF₄, SF₆, AR, HE atd.). Integrací více ventilů, inteligentního monitorování a sestavy čistého pokoje zajišťuje během distribuce čistota plynu, stability a bezpečnost. Obecně se používá při výrobě polovodičů, výrobě fotovoltaické energie, výzkumných laboratořích a dalších oborech vyžadujících přesné řízení plynu.
Technické specifikace
| Kategorie | Podrobnosti o parametru |
|---|---|
| Model: | VMB ventilové potrubí |
| Příslušné plyny: | Inertní plyny (CF₄, SF₆, CHF₃, AR, HE, atd.) |
| Režim dodávky plynu: | Konfigurace s jedním válcem / duálním válcem Volitelná |
| Napájení: | 110 ~ 240V AC |
| Materiál: | Komponenty ventilů a trubek: SS 316L |
| Úroveň ochrany: | Semi S2 kompatibilní, design odolný vůči korozi |
Základní funkce a funkce
Efektivní rozdělení plynu
1)Podporuje konfiguraci s jedním válcem nebo dvojitým válcem s volitelným automatickým přepínačem pro nepřetržité, nepřetržité dodávky plynu.
2) Vestavěný více-ventilový design, který flexibilně vyhovuje složitým potřebám distribuce plynu.
Vysoká čistota a těsnění
1)Ventily a trubice jsou vyrobeny z materiálu SS 316L; Celý systém je sestaven v čisté místnosti třídy 100, aby se zabránilo kontaminaci částic.
2) standard detekce úniku helia: Rychlost úniku menší nebo rovná 1 × 10⁻⁸ MBAR · L/S HE, splnění požadavků na ultra vysoké těsnění.
Inteligentní kontrola
1)Volitelný systém řízení PLC, podporující rozhraní komunikace Modbus pro integraci do platforem pro monitorování inteligentních monitorování, umožňující vzdálenou provoz a správu dat.
2) Displej dotykové obrazovky pro sledování tlaku válce v reálném čase, průtok plynu a stav alarmu s intuitivním uživatelským rozhraním.
Více bezpečnostní ochrany
1)Zvukové a vizuální alarmy s vysokým/nízkým tlakem, které automaticky spustí nouzový vypnutí plynu.
2) Volitelné funkce odvzdušňování a očištění, integrované s bezpečnostním zařízením, aby se zabránilo přetlaku systému.
3) Splňuje standardy SIMI S2 a mezinárodními kódy požární bezpečnosti, s maximálním pracovním tlakem až 110% zkušebního tlaku.
Aplikace
1)Polovodičová výroba:Přesné rozdělení vysoce čistých inertních plynů pro procesy leptání a depozice oplatky.
2)Fotovoltaický průmysl:Stabilní dodávka speciálních plynů (jako je SF₆) pro výrobu solárních panelů.
3)Výzkumné laboratoře:Centralizovaná kontrola a řízení experimentů s vícekanálovými plynovými experimenty.
4)Biofarmaceutický průmysl:Bezpečný přenos a distribuce inertních plynů ve sterilních prostředích.
Kresby
Poloautomatický
Systém zahrnuje automatické vypínací a proplachovací funkce s 3/8 "hlavní linií a 1/4" větev (1 vstup, 4 vývody). Je vybaven ovládacím prvkem PLC, rozhraní 7-} palce dotykové obrazovky a regulaci tlaku větví. Systém je navíc vybaven povrchovým vytápěním panelu pro zvýšený výkon.
Mannul
Systém zahrnuje funkce manuálního přísunu plynu a zpracování plynu s 3/8 "hlavní linií a 1/4" větev (1 vstup, 4 vývody). Je vybaven regulací tlaku linky větve pro optimální kontrolu.
FAQ
Q1: Jak přepíná systém mezi konfiguracemi s jedním a dvouválcovým konfigurací?
Odpověď: Konfigurace duálního válce podporuje automatický přepínání (vyžaduje modul PLC). Když tlak primárního válce klesne, systém se automaticky přepne na záložní válec, aby zajistil nepřetržité napájení.
Q2: Jak je detekován únik plynu?
Odpověď: Integrita systému je ověřena pomocí detekce úniku hmotnosti helia. Denní monitorování lze provádět prostřednictvím abnormálních trendů tlaku nebo výzev alarmů zobrazených na dotykové obrazovce.
Q3: Mohou dotykové obrazovky exportovat historická data?
Odpověď: Standardní dotyková obrazovka podporuje zobrazení dat v reálném čase. Pokud jsou vybaveny modulem PLC, mohou být data exportována ve formátu CSV prostřednictvím rozhraní USB nebo komunikačních protokolů (například Modbus).
Q4: Jaký je doporučený cyklus údržby?
Odpověď: Doporučuje se kontrolovat rychlosti těsnění a úniku ventilu každých šest měsíců a každoročně kalibrovat tlakové senzory. Ve vysokofrekvenčním prostředí využití by měly být prováděny inspekce každé tři měsíce.
Q5: Podporuje systém korozivní plyny?
Odpověď: Tento model je určen pro inertní plyny. Pokud je třeba manipulovat s korozivními plyny (např. HCI), je nutné přizpůsobit se materiály z nerezové oceli a speciální těsnění. Podrobnosti kontaktujte technickou podporu.
Otázka 6: Co by se mělo brát v úvahu během instalace?
Odpověď: Zajistěte instalační prostředí bez čistého a vibrace, připojení výkonu a výfukových plynů a ujistěte se, že oblast plynového válce splňuje požadavek na nosnost zatížení (větší nebo roven 500 kg/m²).
Závěr
VMB VMB Valve Manifold Box (VMB) nabízí spolehlivá řešení pro řízení vysoce čistých plynů prostřednictvím přesné kontroly a přísných bezpečnostních standardů. Pro přizpůsobené konfigurace nebo podrobné technické specifikace kontaktujte oficiální tým Service Vigor Service.
Populární Tagy: Specialita vitality VMB ventilové potrubí ventil, čínská vitalita specialita VMB ventil Manifold Box Výrobci, dodavatelé
